微光顯微鏡EMMI_紅外熱發(fā)射顯微鏡_陜西天士立科技榮譽出品、鎖相紅外熱像儀/電性失效分析029-⑧⑧②②⑸⑸⑼⑴。貨期快,現(xiàn)貨試測,歡迎來電。
陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、熱發(fā)射顯微鏡系統(tǒng)(Thermal Emission microscopy system),是半導體失效分析和缺陷定位的常用的三大手段之一(EMMI,THERMAL,OBIRCH),是通過接收故障點產(chǎn)生的熱輻射異常來定位故障點(熱點/Hot Spot)位置。
陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、將鎖相技術(shù)和熱成像技術(shù)有機結(jié)合,獲得超過1mk以上的溫度分辨率,對uA級漏電流或微短路等導致的缺陷,提供了非常好的解決方案。
陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、實時瞬態(tài)鎖相紅外熱分析系統(tǒng)(RTTLIT)我公司的實時瞬態(tài)的鎖相分析儀可選雙波段,能同時具備EMMI(微光顯微鏡)和Thermal EMMI(熱紅外鎖相顯微鏡)雙功能,具備極高的靈敏度和性價比。專注于芯片、電子電路、電路板、電子元器件等各種產(chǎn)品的失效分析,可用于分析短路失效、漏電失效、CAF失效、離子遷移等等。
1、近紅外相機
探測器:InGaAs(銦鎵砷)
像素大?。?40*512
像元間距:20um
制冷溫度:10℃
曝光時間:16.7ms~33ms
2、金相顯微鏡
圖像:正像
瞳距:調(diào)節(jié)范圍 55-75mm
視場直徑:24mm
調(diào)焦機構(gòu):粗微調(diào)手輪,調(diào)焦行程:50mm;粗動手輪 4mm/轉(zhuǎn);微動手輪
0.1mm/轉(zhuǎn)
物鏡轉(zhuǎn)換器:四孔物鏡轉(zhuǎn)換器,中心可調(diào),可拆卸
3、近紅外物鏡
NIR5X:,數(shù)值孔徑 0.14,工作距離 37.5mm,景深 14um
NIR20X:數(shù)值孔徑 0.40,工作距離 20mm,景深 1.7um
NIR50X:數(shù)值孔徑 0.42,工作距離 17mm,景深 1.6um
4、探針(標配 4 組)
X-Y-Z 行程: 12mm x 12mm x 12mm
絲杠螺紋嚙合&微分頭驅(qū)動(自鎖止功能,彈簧抑制跳動)
移動精度 0.35um
支持開爾文針臂安裝、射頻支臂安裝
針尖直徑:5um
針桿類型:同軸 BNC(最大耐受電壓 500V)
5、氣浮臺
臺面尺寸:1200 mm × 900 mm × 200 mm
臺面高度:800mm
隔振方式:氣浮隔振
6、源表
最大電壓 200V
最大電流 1A接口類型:香蕉頭
7、電腦
12 代 CPU:Intel i7-12700
內(nèi)存:32G
硬盤:1T 機械+240G 固態(tài)
操作系統(tǒng):WIN10
電源:300W
顯卡:英偉達 T1000
顯示器:27 寸 4K 顯示器
配置鼠標、鍵盤
8、軟件功能
四象限畫面布局
鎖相 EMMI 計算開始、中止功能
圈選功能(范圍內(nèi)最大值、最小值、平均值、標準差)
數(shù)據(jù)、圖像保存、導入/導出功能
歷史暫存功能
直方圖均衡化
多階濾波降噪算法(中值、平滑、高斯)
IV 測量工具
網(wǎng)格計算功能
Overlay 疊圖功能
畫面距離量測功能
正面測量/背面測量畫面切換功能
3D 數(shù)據(jù)顯示功能
9、安裝要求
電源:230V±10%/50Hz,功率 2300W
真空:>50kPa
安裝空間:空間不小于 2 米*2 米
配置桌子
微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會放出光子(Photon)。舉例說明:在P-N 結(jié)加偏壓,此時N阱的電子很容易擴散到P阱,而P的空穴也容易擴散至N然后與P端的空穴(或N端的電子)做 EHP Recombination。
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